Подготовка поперечного сечения кремниевой пластины: минимизация повреждений для выявления истинной структуры.

Кремниевые пластины твердые и хрупкие, поэтому подготовка поперечных сечений особенно чувствительна к сколам по краям, микротрещинам и повреждениям подповерхностного слоя. Эти артефакты, возникающие в процессе подготовки, могут повлиять на последующий анализ с помощью оптической микроскопии и сканирующей электронной микроскопии.

Поэтому крайне важен контролируемый процесс подготовки.

Для данного поперечного сечения кремниевой пластины использовался следующий метод подготовки:

• Алмазные шлифовальные диски DiaRe P120–P400 для плоскошлифовки

• Жесткий шлифовальный диск POS для тонкой шлифовки + поликристаллическая алмазная суспензия PD-WT 9 мкм

• Шелковая полировальная ткань SC + суспензия поликристаллических алмазов PD-WT 3 мкм

• Полиуретановая полировальная ткань ZN + суспензия коллоидного диоксида кремния SO-A439 с размером частиц 0,05 мкм для окончательной полировки

Использование алмазной шлифовки на начальных этапах помогает поддерживать плоскостность, снижая при этом риск повреждения хрупкого кремния. Окончательная полировка коллоидным диоксидом кремния дополнительно удаляет остаточные повреждения поверхности и обеспечивает чистое поперечное сечение для надежного микроскопического исследования.

Качественная подготовка кремниевых пластин — это не просто достижение зеркальной поверхности, а сохранение истинного состояния материала.