تحضير المقطع العرضي لرقاقة السيليكون: تقليل الضرر للكشف عن البنية الحقيقية

تتميز رقائق السيليكون بصلابتها وهشاشتها، مما يجعل تحضير المقاطع العرضية حساساً للغاية لتشقق الحواف، والتشققات الدقيقة، والتلف تحت السطحي. ويمكن أن تؤثر هذه العيوب الناتجة عن التحضير على التحليل اللاحق باستخدام المجهر الضوئي والمجهر الإلكتروني الماسح.

لذا فإن عملية التحضير الخاضعة للرقابة أمر ضروري.

بالنسبة لهذا المقطع العرضي لرقاقة السيليكون، تضمنت طريقة التحضير ما يلي:

• أقراص طحن ماسية DiaRe P120–P400 للطحن المستوي

• قرص طحن دقيق صلب POS + معلق ماسي متعدد البلورات PD-WT بحجم 9 ميكرومتر

• قطعة قماش تلميع حريرية SC + معلق ماسي متعدد البلورات PD-WT بحجم 3 ميكرومتر

• قطعة قماش تلميع من البولي يوريثان ZN + معلق السيليكا الغروية SO-A439 بحجم 0.05 ميكرومتر للتلميع النهائي

يساعد استخدام الصقل الماسي في المراحل الأولى على الحفاظ على استواء السطح مع تقليل خطر تلف السيليكون الهش. أما التلميع النهائي باستخدام السيليكا الغروية فيزيل أي تلف متبقٍ على السطح، وينتج عنه مقطع عرضي نظيف لإجراء فحص مجهري موثوق.

إن تحضير رقائق السيليكون الجيدة لا يتعلق فقط بتحقيق سطح أملس كالمرآة، بل يتعلق أيضاً بالحفاظ على الحالة الحقيقية للمادة.