탄화규소 세라믹 EBSD 시료 준비

탄화규소(SiC) 세라믹은 뛰어난 열전도율, 고온 저항성, 내마모성 및 내식성을 특징으로 하며, 반도체 제조, 신에너지 태양광 발전, 항공우주 열 보호 및 고온 야금 분야에 널리 사용됩니다. 이러한 소재의 성능은 결정립 형태, 결정립계 조건 및 잔류 응력에 의해 좌우됩니다.

EBSD는 SiC의 결정립 배향, 조직 및 미세 결함을 분석하는 데 필수적인 특성 분석 방법입니다. 신뢰할 수 있는 EBSD 데이터는 소결 최적화를 위한 지침을 제공하고 부품 고장을 방지합니다. 정밀한 시편 준비는 단단하고 취성이 강한 SiC 세라믹의 EBSD 인덱싱 성공 여부를 결정짓습니다. 일반 사포로는 연마가 불가능하며, 다이아몬드 디스크와 진동 연마기가 필요합니다.

당사의 SiC EBSD 준비 절차:

1️⃣ P400 다이아몬드 디스크를 이용한 평탄화 황삭

2️⃣ 미세 연마: POS 패드 + 9μm PD-WT 다이아몬드 현탁액

3️⃣ 거친 연마: SC-JP 천 + 3μm PD-WT 현탁액

4️⃣ 중간 연마: ZN-ZP 천 + AO-A439 현탁액

5️⃣ 최종 진동 연마: ZN-ZP 천 + AO-A439 현탁액