碳化矽陶瓷

目的：製備拋光後的碳化矽陶瓷樣品。碳化矽陶瓷具有低熱膨脹係數、高比強度、高導熱係數、高硬度、優異的耐磨性、低摩擦係數、耐腐蝕性，最重要的是，在高達1650℃的溫度下仍能保持優異的性能。這些特性使得碳化矽陶瓷成為應用最廣泛的結構陶瓷之一。樣品經切割（TableCut200）、鑲嵌（TJ2568冷鑲嵌樹脂）、研磨/拋光（Alpha610）和顯微組織觀察（MN80金相顯微鏡）等工序處理。

基本指南：

切割： 1.選擇 DR 樹脂結合劑鑽石切割片，具體型號選擇請參考 Trojan 的切割指南。

2.由於陶瓷的硬度和脆性，選擇脈衝模式進行切割，建議最大切割速度≤0.2mm /s。

安裝：採用高硬度冷/熱嵌體樹脂進行安裝。

研磨： 1.使用樹脂鑽石研磨盤，從 P400 開始，直到樣品表面平整，切割造成的損傷完全移除。

2.繼續使用 P1500 和 P4000 樹脂鑽石砂輪。

3.使用前用修整石磨利樹脂結合鑽石砂輪片。

拋光： 1.開始前，請清潔拋光布、樣品架和雙手。每次拋光步驟後都要重複清潔。

2.不要將不同磨料尺寸的砂輪片混用。

3. 使用酒精和吹風機清潔並吹乾樣品表面。注意：請勿使用酒精清潔用石英拋光液拋光過的表面，否則可能會導致殘留物黏附。

4.每完成一步後，用金相顯微鏡檢查刮痕尺寸是否與磨料粒度相匹配，以及刮痕方向是否隨機。

5.用流水和軟刷徹底沖洗拋光布，然後風乾。

6.如果表面凹凸不平嚴重，則用最終的砂紙重新研磨並重複拋光，同時減少二氧化矽+鋅拋光的時間。