دراسة حالة تحضير العينات المعدنية للرقائق المصنوعة من السيليكون

تُعدّ الرقائق المصنوعة من السيليكون الركيزة الأساسية لأشباه الموصلات، وتُستخدم على نطاق واسع في الإلكترونيات الاستهلاكية، وأنظمة التحكم الصناعية للطاقة الجديدة، ورقائق السيارات، وأجهزة الذكاء الاصطناعي، وغيرها. وتُشكّل نقاط توصيل الرقائق هياكل بالغة الأهمية لتغليف المكونات وتوصيل الأطراف، حيث تضطلع بوظائف أساسية تشمل توصيل الدوائر ونقل الإشارات. وتؤثر سلامة هذه النقاط بشكل مباشر على إنتاجية التغليف وموثوقية الجهاز على المدى الطويل.

في عمليات التصنيع الدقيقة على المستويين الميكروي والنانوي، تكون الوسادات عرضة للعيوب الميكروية. لذلك، أصبح التقطيع المعدني المقطعي للوسادات إجراءً أساسياً لمراقبة الجودة وتحليل الأعطال في تغليف الرقائق.

يُمكّن الفحص المجهري المعدني من الكشف الدقيق عن الفراغات في نقاط التلامس، وعدم انتظام سماكة الطلاء، وانفصال الطبقات البينية، وتلف التآكل، وغيرها من العيوب، مما يُسهّل عملية تشخيص أعطال عملية التغليف بكفاءة. كما يُوفّر تقطيع نقاط التلامس وفحصها بدقة دعمًا تقنيًا بالغ الأهمية لضمان استقرار توصيل دوائر الرقائق، وتحسين جودة التغليف، وتقليل مخاطر تعطل الأجهزة.

فيما يلي سير العمل التحضيري المعدني لملاحظة المقطع العرضي لرقاقة الشريحة كمرجع لكم:

●   الصقل الخشن حتى الوصول إلى العمق المطلوب باستخدام ورق صنفرة P1200، ثم الصقل الدقيق بالتتابع باستخدام ورق صنفرة P2500 وP4000

●   التلميع الخشن: قماش SC-JP + معلق الماس متعدد البلورات PD-WT بحجم 3 ميكرومتر

●   التلميع المتوسط: قماش ET-JP + معلق ألومينا AO-W بحجم 0.05 ميكرومتر

● التلميع النهائي للمرآة: قماش ZN + معلق تلميع السيليكا SO-T401