الفحص المعدني للقطاعات العرضية لعبوات الرقائق

يُعدّ الفحص المعدني للقطاعات العرضية لتغليف الرقائق الإلكترونية تقنية أساسية لتحليل أعطال التغليف ومراقبة الجودة. فمن خلال تحضير عينات القطاعات العرضية عبر عمليات قطع دقيقة وموجهة، وطحن، وتلميع، ومعالجة كيميائية، تتم مراقبة بنية التوصيلات الداخلية مباشرةً باستخدام تقنية المجهر. ويُستخدم هذا الفحص بشكل رئيسي في: التقييم الدقيق لأبعاد ومستوى استواء وحدات التوصيل، مثل كرات اللحام وأعمدة النحاس؛ وفحص حالة الترابط بين الرقائق والركائز لتحديد العيوب، بما في ذلك الانفصال الطبقي والفراغات والتشققات؛ وتشخيص مشكلات العمليات في الطلاء الكهربائي واللحام وغيرها من الإجراءات؛ وتحديد نقاط الفشل وتحليل آليات الفشل الفيزيائية الناتجة عن الإجهاد الحراري الميكانيكي، والهجرة الكهربائية، وما إلى ذلك، بعد اختبارات الموثوقية أو فشل المكونات. توفر هذه التقنية معلومات قطاعية بديهية وعالية الدقة لتطوير عمليات التغليف المتقدمة، واستكشاف أخطاء العيوب وإصلاحها، وضمان الموثوقية، ولذلك فهي ضرورية للغاية.

تعتمد طريقة التحضير التقليدية للتقطيع العرضي على مبدأ الطحن التدريجي والفحص الفوري. يُنصح باستخدام مجهر TROJAN MTV03 عالي الدقة المجسم لمراقبة حالة الطحن.

إجراءات محددة:

● استخدم ورق الصنفرة ذو حبيبات P400 لإزالة جزء من المادة بسرعة للوصول إلى الموضع المستهدف.

● قم بالصنفرة باستخدام ورق صنفرة ذي حبيبات P800 وتوقف عندما تظهر كرات اللحام تحت المراقبة.

● قم بالطحن الدقيق باستخدام ورق صنفرة P1200 لتسوية السطح، وقم بتلميع جميع كرات اللحام إلى نفس المستوى، ثم قم بالطحن حتى تصل إلى موضع نصف قطر كرات اللحام.

● استخدم ورق صنفرة بدرجة خشونة P2500 للطحن الدقيق لإزالة الخدوش من الخطوة السابقة.

● التلميع الخشن باستخدام قطعة قماش التلميع SC-JP + معلق التلميع PD-WT بحجم 1 ميكرومتر.

● التلميع النهائي باستخدام قطعة قماش التلميع ZN-ZP + معلق التلميع AO-W بسمك 50 نانومتر.