SemiPOL 可對各種材料(光學透鏡、半導體晶片、金屬和非金屬晶相)進行精確研磨和拋光,以進行顯微分析(SEM、FIB、TEM 等),目標是達到微米級精度。
該設備主要用於平行研磨和拋光,可與附加配件結合使用,以便更輕鬆地研磨和拋光複雜的不規則工件和表面。
它具備即時監測材料去除量的功能,或可量化設定材料去除量以實現無人值守運作。雙步進馬達驅動獨立控制磨削夾具的振盪速度和振幅,進而提高工件的平整度、表面光潔度和耗材利用率。
產品特性
● 砂輪尺寸:8 英吋(Φ203 毫米);
● 砂輪轉速:0–600 rpm,可逆(順時針/逆時針);
● LCD螢幕顯示即時材料去除情況,解析度1μm,穩定精度10μm;
● 可程式材料去除量,解析度1μm,穩定精度10μm;達到設定的去除值時設備自動停止;
● 研磨時間可編程;設備在達到設定時間時自動停止;
● 7吋液晶顯示幕/觸控屏,能夠保存/編輯至少20組參數;
● 樣品旋轉:可自旋轉、保持靜止或以可調整的振幅振盪;
● 冷卻水開關自動/手動控制;
● 主軸馬達功率:750W,伺服馬達具有高扭矩和恆定扭矩輸出;樣品振盪由步進馬達驅動,以獲得更大的扭矩和耐用性。