رقاقة كربيد السيليكون

غاية لاحظ البنية المجهرية المقطعية لرقائق كربيد السيليكون (SiC). بالمقارنة مع أشباه الموصلات السيليكونية من الجيل الأول ، يتميز كربيد السيليكون بخصائص كهربائية فائقة، مثل مقاومة الجهد العالي، ومقاومة درجات الحرارة العالية، وفجوة نطاق واسعة، وموصلية حرارية عالية، مما يجعله مادة أساسية لأشباه الموصلات من الجيل الثالث. ويُستخدم على نطاق واسع في أجهزة الطاقة لمركبات الطاقة الجديدة، والخلايا الكهروضوئية، والنقل بالسكك الحديدية. ومع ذلك، فإن صلابة كربيد السيليكون العالية وهشاشته تُشكل تحديات في تحضير العينات المعدنية. تخضع العينات لعملية التثبيت البارد (باستخدام راتنج TJ2226 المعالج بالبرودة)، والطحن/التلميع (باستخدام Alpha610)، وعملية طحن/تلميع من خمس خطوات.

دليل أساسي :

التركيب : استخدم راتنجًا عالي الاحتفاظ بالحواف يتم معالجته على البارد (مثل TJ2226).

الطحن : 1. ابدأ الطحن باستخدام قرص طحن ماسي مرتبط بالراتنج P400 DiaRe حتى الوصول إلى منطقة المراقبة المستهدفة.

2. استمر في الطحن باستخدام قرص POS + معلق تلميع الماس 9 ميكرومتر.

3. نظف العينة وحامل العينة واليدين بعد كل خطوة طحن.

التلميع : 1. نظف قطعة قماش التلميع وحامل العينة واليدين قبل التلميع. كرر التنظيف بعد كل خطوة.

2. لا تخلط أقراص التلميع ذات أحجام الجسيمات الكاشطة المختلفة .

3. اشطف سطح العينة بالكحول وجففه باستخدام مجفف الهواء لإزالة بقايا الماء.

4. بعد كل خطوة من خطوات التلميع، افحص تحت المجهر المعدني للتأكد من أن حجم الخدش يتطابق مع حبيبات الكشط وأن الاتجاه عشوائي.

5. نظفي قطع قماش التلميع بالماء الجاري وفرشاة ناعمة بعد الاستخدام، ثم اتركيها تجف في الهواء.

6. تخصيص أقمشة التلميع المستخدمة لرقائق كربيد السيليكون حصريًا لهذه العينات.